ITO纳米线及其气体传感器的制备方法

摘要

本发明公开了一种制备ITO纳米线及其气体传感器的方法。纳米线的制备方法是：在衬底上沉积一层金膜；将氧化铟、氧化亚锡和石墨的粉末按比例混合后放入舟中，衬底放在舟上并一同加热、保温；加热炉内石英管中的气压保持在约300帕，并通入含有少量氧气的混合气体；炉冷却到室温后，微黄色产物在衬底上生成。传感器制备方法是：将纳米线用超声波分散到溶液中约2小时，烘干，所成浆料涂覆在有两个电极的陶瓷管上，浆料需覆盖在电极上，烘干或烧结，连接引线。这种ITO纳米线制备方法的优点在于简单、可控，成本低，材料有很好的气敏特性；气体传感器的优点有响应时间快、恢复时间短，性能稳定，噪声低，灵敏度高，适合于规模化的工业生产。

主权项

一种铟掺杂的氧化锡纳米线气体传感器的制备方法，其特征是，该方法为：(1)将铟掺杂的氧化锡纳米线在溶液中分散均匀并制成浆料，该纳米线中铟的原子浓度为5％；(2)采用光刻方法在平面基片上制作电极；将浆料涂覆在有两个导电电极的基片上；在陶瓷管上制作固定在陶瓷管上的铂电极，将浆料覆盖在铂电极上；(3)加热至50℃-960℃，加热时间10分-10小时；(4)引线连接；所述的溶液为酒精。