刷组件以及具有该刷组件的基片清洗装置

摘要

使用刷子清洗基片的装置中，刷组件包括设在处理室中的可旋转轴以及设在该轴的中部的刷子。清洗溶液供给至该刷子上以清洗该基片，并且所述刷子被带到与该基片的表面直接接触。喷吹单元生成气流以防止供给至该刷子上的该清洗溶液在清洗该基片的同时沿着该轴流向该轴的端部。由此，防止供给至该刷子上的该清洗溶液泄漏出该处理室。

主权项

一种刷组件，包括：可旋转轴；设在所述轴的中部以清洗基片的刷子，所述刷子被带到与所述基片的表面接触，并且清洗溶液被供给至所述刷子上；及安装在所述可旋转轴的一端部的喷吹单元，其生成气流以防止在清洗所述基片时供给至所述刷子上的所述清洗溶液沿着所述轴流向所述轴的端部，其中所述喷吹单元包括：安装在所述轴的所述端部的毂体，并且所述毂体具有朝向所述刷子倾斜的截头圆锥形状；及多个螺旋形叶片，其设在所述毂体的圆周表面上以生成所述气流。