基于波分复用技术的多通道光微流体传感器及传感装置

摘要

基于波分复用技术的多通道光微流体传感器和传感装置。包括：宽带光源，光环形器，光谱分析装置，以及多通道光微流体传感器。传感器由基底及其上依次设置的波导光栅阵列和光微流体谐振腔阵列构成。宽带光源输出的光通过光环形器到达多通道光微流体传感器，其反射光信号也将微流体谐振腔的谐振模波长信息带回接收端，再经光环形器进入到光谱分析装置。该装置够有效地实现多通道光微流体传感，可用于高通量光微流体检测系统的构建。通过设计波导光栅的参数，可有效控制波导光栅与光微流体谐振腔的相互作用，有效增加光谐振谱线响应峰值，从而提高检测灵敏度。该装置适用于多种应用场合，且制作容易，能够用已有技术实现批量生产。

主权项

一种基于波分复用技术的多通道光微流体传感器，其特征在于该传感器包括基底，基底上为波导光栅阵列，在波导光栅阵列上设置有光微流体谐振腔阵列，所述的光微流体传感器中的光微流体谐振腔阵列在空间上与波导光栅阵列一一对应，波导光栅阵列中的同一串联制作的各波导光栅谐振波长各不相同，且中心波长分别对应于光微流体谐振腔的谐振梳状谱系列的其中一条谱线。