| 发明名称 | 可动元件和处理台 | ||
| 摘要 | 一种可动元件，载置并移动被处理基板，其特征在于，包括：由金属材料制成的主板；和配置在所述主板上，并由硬度高于所述金属材料的材料制成的多个副板，所述多个副板的上表面为所述被处理基板的载置面。 | ||
| 申请公布号 | CN101815659A | 申请公布日期 | 2010.08.25 |
| 申请号 | CN200880109962.3 | 申请日期 | 2008.11.11 |
| 申请人 | 株式会社爱发科 | 发明人 | 井上祐也;田中寿人;谷藤保 |
| 分类号 | B65G49/06(2006.01)I;B23Q1/01(2006.01)I;B23Q1/58(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I;H01L21/68(2006.01)I | 主分类号 | B65G49/06(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人 | 齐葵;王诚华 |
| 主权项 | 一种可动元件，载置并移动被处理基板，其特征在于，包括：由金属材料制成的主板；和配置在所述主板上，并由硬度高于所述金属材料的材料制成的多个副板，所述多个副板的上表面为所述被处理基板的载置面。 | ||
| 地址 | 日本神奈川县 | ||