| 发明名称 | 用于离子注入过程的错误检测及控制方法以及执行该方法的系统 | ||
| 摘要 | 本发明系大致有关用于离子注入程序的错误检测及控制方法，以及执行该方法之一种系统。在一实施例中，该方法包含：执行离子注入工具(10)的调整程序，该调整程序产生该离子注入工具(10)的至少一个工具参数；根据自该调整程序产生的该工具参数而选择或产生欲在该离子注入工具(10)中执行的离子注入程序的错误检测模型；以及使用所选择的或所产生的该错误检测模型来监视在该离子注入工具(10)中执行的离子注入程序。在另一实施例中，该方法包含：执行离子注入工具(10)的调整程序，该调整程序产生该离子注入工具(10)的至少一个工具参数；以及根据在该离子注入工具(10)中执行的离子注入程序所施加过的至少一个衬底中形成的各注入区的历史性度量数据，而决定自该调整程序产生的该工具参数是否可接受。 | ||
| 申请公布号 | CN1894767B | 申请公布日期 | 2010.08.25 |
| 申请号 | CN200480037144.9 | 申请日期 | 2004.06.04 |
| 申请人 | 先进微装置公司 | 发明人 | E·小科斯;P·M·考恩;R·J·马克尔;T·谢 |
| 分类号 | H01J37/317(2006.01)I;H01J37/304(2006.01)I | 主分类号 | H01J37/317(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人 | 程伟;孙向民 |
| 主权项 | 一种用于离子注入过程的错误检测及控制方法，包括：执行离子注入工具(10)的调整程序，该调整程序产生该离子注入工具(10)的至少一个工具参数；根据自该调整程序产生的该至少一个工具参数而选择欲在该离子注入工具(10)中执行的离子注入程序的错误检测模型(24)；以及使用所选择的该错误检测模型(24)来监视在该离子注入工具(10)中执行的离子注入程序。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||