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发明名称 Blade of robot for transferring a wafer
摘要
申请公布号 KR100977439(B1) 申请公布日期 2010.08.24
申请号 KR20080042147 申请日期 2008.05.07
申请人 发明人
分类号 H01L21/677;H01L21/687 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
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