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发明名称 POLISHING HEAD TESTING WITH MOVABLE PEDESTAL
摘要
申请公布号 KR100977914(B1) 申请公布日期 2010.08.24
申请号 KR20080023921 申请日期 2008.03.14
申请人 发明人
分类号 G01M99/00;H01L21/66;H01L21/304 主分类号 G01M99/00
代理机构 代理人
主权项
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