真空溅镀磁力源之磁石固定结构

摘要

本创作系有关于一种真空溅镀磁力源之磁石固定结构，其主要系于溅镀靶座内对应嵌入有供产生溅镀制程的磁石，且以不会影响磁力线运作之材质的定位片，来对应将磁石固定于溅镀靶座内者；藉此，让磁石除了可达到稳固的定位之外，亦可达到便利拆卸更换的优点，同时，不会影响磁力线运作进行真空溅镀制程者。

主权项

1.一种真空溅镀磁力源之磁石固定结构，其主要系利用溅镀靶座内之磁石溅镀沈积材料至一基材上，其中：该溅镀靶座内系分隔有诸多置设磁石的容置空间，于容置空间之周边设有固定孔，其磁石系以一不影响磁力线运作之材质的定位片，来固定于容置空间处的固定孔者。;第一图：本创作之立体分解示意图;第二图：本创作之俯视示意图;第三图：本创作之剖视示意图;第四图：本创作之整体剖视示意图