具有微感测器及高分子材料之燃料电池之制法

摘要

一种具有微感测器及高分子材料之燃料电池之制法，其包括下列步骤：一．沉积第一高分子材料层步骤、二．第一次曝光显影步骤、三．沉积铬层步骤、四．沉积金层步骤、五．移除第一光阻层步骤、六．沉积第二高分子材料层步骤、七．第二次曝光显影步骤、八．电浆蚀刻步骤、九．移除第二光阻步骤以及十．完成步骤，如此兼具高分子材料可保护微感测器、可在特定位置上设置微感测器，以及整体制程成本较低等功效。

主权项

1.一种具有微感测器及高分子材料之燃料电池之制法，其包括下列步骤：一．沉积第一高分子材料层步骤：准备一由矽基材构成之第一膜电极组，其具有一工作表面，在该工作表面上沉积一第一高分子材料层，该第一高分子材料层系为聚对二甲苯；二．第一次曝光显影步骤：利用曝光显影技术在该第一高分子材料层上涂布一第一光阻层，该第一光阻层系具有一预定之第一分布图形，使得该第一高分子材料层具有一第一裸露部及一第一阻隔部；三．沉积铬层步骤：在该第一光阻层及该第一高分子材料层之第一裸露部上沉积一预定厚度之铬层；四．沉积金层步骤：于该铬层上再沉积一金层；五．移除第一光阻层步骤：移除该第一高分子材料层之第一阻隔部上方之第一光阻层、其上方之铬层及该铬层上方之金层；六．沉积第二高分子材料层步骤：于该第一高分子材料层之第一阻隔部及该金层上沉积一第二高分子材料层，该第二高分子材料层系为聚对二甲苯；七．第二次曝光显影步骤：利用曝光显影技术于该第二高分子材料层上涂布一第二光阻层，该第二光阻层系具有一预定之第二分布图形，使得该第二高分子材料层具有第二裸露部及第二阻隔部；八．电浆蚀刻步骤：利用一反应性离子蚀刻机，对该第二高分子材料层之第二裸露部向下进行电浆蚀刻，以形成复数个连通至该金层之金属接点部；九．移除第二光阻步骤：将该第二光阻层移除；十．完成步骤：将该复数金属接点部连接预定之导线，形成一具有复数微感测器之高分子薄膜，另再组装一第二膜电极组，最后于该第一膜电极组及该第二膜电极组外分别设置一双极板，藉此形成一具有微感测器之燃料电池。 ;2.如申请专利范围第1项所述之具有微感测器及高分子材料之燃料电池之制法，其中：于该沉积金层步骤中；该铬层上沉积之金层系作为感测器。 ;3.如申请专利范围第1项所述之具有微感测器及高分子材料之燃料电池之制法，其中：于该电浆蚀刻步骤中；该反应性离子蚀刻机系以含氧电浆对该第二高分子材料层之第二裸露部进行蚀刻。 ;4.如申请专利范围第1项所述之具有微感测器及高分子材料之燃料电池之制法，其中：于该移除第二光阻步骤中；系利用丙酮将该第二光阻层移除。;第一图系本发明之分解示意图;第二图系本发明之制法之流程图;第三图系本发明之成品之剖视示意图