发明名称 记忆体结构及其操作方法;MEMORY STRUCTURE AND OPERATING METHOD THEREOF
摘要 一种记忆体之操作方法,用以使记忆体具有第一阈值电压或第二阈值电压,方法包括:对记忆体之闸极施加一操作电压,操作电压持续一第一时段,使记忆体具有该第一阈值电压;以及,对记忆体之闸极施加相同之操作电压,操作电压持续一第二时段,使记忆体具有第二阈值电压。第一时段之长度与第二时段之长度不同。
申请公布号 TWI329365 申请公布日期 2010.08.21
申请号 TW096108467 申请日期 2007.03.12
申请人 旺宏电子股份有限公司 MACRONIX INTERNATIONAL CO., LTD. 新竹市新竹科学工业园区力行路16号 发明人 吴昭谊;薛铭祥
分类号 主分类号
代理机构 代理人 祁明辉 台北市信义区忠孝东路5段510号22楼之2;林素华 台北市信义区忠孝东路5段510号22楼之2
主权项 1.一种记忆体之操作方法,用以使一记忆体结构具有一第一阈值电压或一第二阈值电压,该方法包括:(a)当该记忆体结构具有一第一阈值电压时,对该记忆体结构之闸极施加一操作电压,该操作电压持续一第一时段,使该记忆体结构具有该第二阈值电压;(b)当该记忆体结构具有一第二阈值电压时,对该记忆体结构之闸极施加相同之该操作电压,该操作电压持续一第二时段,使该记忆体结构具有该第一阈值电压,该第一时段之长度与该第二时段之长度不同。 ;2.如申请专利范围第1项所述之操作方法,其中该记忆体结构具有一顶氧化层、一电荷捕捉层及一底氧化层。 ;3.如申请专利范围第2项所述之操作方法,其中该底氧化层之厚度范围位于30埃(angstrom,)~40之间。 ;4.如申请专利范围第2项所述之操作方法,其中该电荷捕捉层之厚度范围位于70~200之间。 ;5.如申请专利范围第2项所述之操作方法,其中该顶氧化层之厚度范围位于70~100之间。 ;6.如申请专利范围第1项所述之操作方法,其中该记忆体结构具有一N型通道。 ;7.如申请专利范围第6项所述之操作方法,其中该操作电压之范围系位于-16V~-22V之间。 ;8.如申请专利范围第1项所述之操作方法,其中该记忆体结构具有一P型通道。 ;9.如申请专利范围第8项所述之操作方法,其中该操作电压之范围系位于16V~22V之间。 ;10.一种记忆体结构,包括:一基板,包括:一通道;及一源极端及一汲极端,分别位于该通道之两侧;一底氧化层,设置于该通道上;一电荷捕捉层,设置于该底氧化层上;一顶氧化层,设置于该电荷捕捉层上;以及一闸极,设置于该顶氧化层上;其中,该底氧化层具有一特定厚度使得藉由施加一操作电压于该闸极,并控制该操作电压之施加时间为一第一时段时,该记忆体结构具有一第一阈值电压;当相同之该操作电压之施加时间为一不同于第一时段之第二时段时,该记忆体结构具有一第二阈值电压。 ;11.如申请专利范围第10项所述之记忆体结构,其中该底氧化层之厚度范围位于30~40之间。 ;12.如申请专利范围第10项所述之记忆体结构,其中该电荷捕捉层之厚度范围位于70~200之间。 ;13.如申请专利范围第10项所述之记忆体结构,其中该顶氧化层之厚度范围位于70~100之间。 ;14.申请专利范围第10项所述之记忆体结构,其中该基板系为一P型基板。 ;15.如申请专利范围第14项所述之记忆体结构,其中该源极及该汲极具有N型掺质。 ;16.申请专利范围第10项所述之记忆体结构,其中该基板系为一N型基板。 ;17.如申请专利范围第16项所述之记忆体结构,其中该源极及该汲极具有P型掺质。 ;18.申请专利范围第10项所述之记忆体结构,其中该电荷捕捉层之材质系为氮化矽或氧化铝。 ;19.申请专利范围第10项所述之记忆体结构,其中该闸极之材质系为金属、P型多晶矽或N型多晶矽。 ;20.申请专利范围第10项所述之记忆体结构,其中该底氧化层及该顶氧化层之材质系为氧化矽。;第1图绘示本发明一较佳实施例的一种记忆体结构示意图;以及第2图绘示本发明之记忆体的操作方法流程图。
地址 MACRONIX INTERNATIONAL CO., LTD. 新竹市新竹科学工业园区力行路16号