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发明名称 Method for growing a thin film diamond with carbon atomic beams
摘要
申请公布号 KR100977171(B1) 申请公布日期 2010.08.20
申请号 KR20080038859 申请日期 2008.04.25
申请人 发明人
分类号 H01L21/20;H01L21/203;H01L21/205 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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