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发明名称
Method of manufacturing mechanical components of MEMS or NEMS structures in monocrystalline silicon
摘要
申请公布号
DE602008001711(D1)
申请公布日期
2010.08.19
申请号
DE200860001711T
申请日期
2008.12.22
申请人
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIESALTERNATIVES
发明人
ROBERT, PHILIPPE;NGUYEN, VALERIE
分类号
B81C1/00
主分类号
B81C1/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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