Aktuator mit mindestens einem Magneten für eine Projektionsbelichtungsanlage sowie Projektionsbelichtungsanlage mit einem Magneten und Herstellungsverfahren hierfür

摘要

Die vorliegende Erfindung betrifft einen Aktuator für Projektionsbelichtungsanlagen mit mindestens einem Magneten (22), wobei der Magnet gekapselt und/oder in einer Magnethalteplatte (12) gelagert ist, die durch mikrotechnische Herstellungsverfahren derart hergestellt ist, dass die bewegliche Manipulatorfläche (23) über einstückige oder stoffschlüssige Verbindungen ohne zusätzlichen Verbindungsstoff in der Magnethalteplatte gehalten ist, so dass eine sichere Verbindung gegeben ist.