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发明名称 SUBSTRATE SUPPORT AND LITHOGRAPHIC PROCESS
摘要
申请公布号 KR100977030(B1) 申请公布日期 2010.08.19
申请号 KR20070127822 申请日期 2007.12.10
申请人 发明人
分类号 H01L21/683;H01L21/027;H01L21/687 主分类号 H01L21/683
代理机构 代理人
主权项
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