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发明名称 Verfahren zur Herstellung von gestapelten Inselstrukturen aus einem Halbleitermaterial in einem anderen Halbleitermaterial
摘要
申请公布号 DE602005022143(D1) 申请公布日期 2010.08.19
申请号 DE200560022143T 申请日期 2005.08.12
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIESALTERNATIVES 发明人 DAMLENCOURT, JEAN-FRANCOIS;VANDELLE, BENOIT
分类号 H01L21/20;H01L29/12 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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