发明名称 光固化性组合物、精细图案形成体的制造方法和光学元件
摘要 提供一种能高效制造模具的精细图案被高精度转印的精细图案形成体的光固化性组合物。所述光固化性组合物,其特征在于,相对于100质量份的光固化性单体(A),包含5~60质量份的平均粒径为200nm以下的胶体二氧化硅(B)(固体成分)、和0.1~10质量份的光聚合引发剂(C),光固化性单体(A)包含在1分子中具有3个以上(甲基)丙烯酰氧基的多官能性单体(A1)、和在1分子中具有2个(甲基)丙烯酰氧基的2官能性单体(A2),属于多官能性单体(A1)或2官能性单体(A2)的化合物的至少一部分具有羟基,相对于多官能性单体(A1)与2官能性单体(A2)的总计量(mol),羟基的总量(mol)的比例为10%以上。
申请公布号 CN101809046A 申请公布日期 2010.08.18
申请号 CN200880108313.1 申请日期 2008.09.26
申请人 旭硝子株式会社 发明人 海田由里子;坂本宽;山本博嗣
分类号 C08F220/26(2006.01)I;C08F292/00(2006.01)I;G02B5/30(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I;B29C59/02(2006.01)I;C08F2/44(2006.01)I 主分类号 C08F220/26(2006.01)I
代理机构 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 代理人 刘新宇;李茂家
主权项 一种光固化性组合物,其特征在于,所述光固化性组合物包含光固化性单体(A)、平均粒径为200nm以下的胶体二氧化硅(B)和光聚合引发剂(C),它们的含量是相对于100质量份的光固化性单体(A),胶体二氧化硅(B)(固体成分)为5~60质量份,光聚合引发剂(C)为0.1~10质量份,所述光固化性单体(A)至少包括下述多官能性单体(A1)和下述2官能性单体(A2),属于多官能性单体(A1)或2官能性单体(A2)的化合物的至少一部分具有羟基,相对于多官能性单体(A1)与2官能性单体(A2)的总计摩尔量,上述羟基的总摩尔量的比例为10%以上,多官能性单体(A1):在1分子中具有3个以上(甲基)丙烯酰氧基的化合物,2官能性单体(A2):在1分子中具有2个(甲基)丙烯酰氧基的化合物。
地址 日本东京都