多区域电阻加热器

摘要

本发明涉及多区域电阻加热器，本发明的一实施例提出了一种整合式沉积系统，其能汽化低蒸汽压力的液体前驱物并输送该蒸汽至一处理区，以制造先进的集成电路。该整合式沉积系统包括一已加热的排除系统、一远端等离子体产生装置、一处理室、一液体配送系统与一电脑控制模块，且该些装置共同创造出一种具商业可行性与生产价值的利用低蒸汽压前驱物来沉积高效介电材料(high capacity dielectric material)的系统。

主权项

一种装置，其包含：一平台，包括一主体及一用以支撑一晶圆的表面区域；一传动轴，耦合至该平台；一第一加热元件，沿第一轴心布置于该平台的主体的一第一平面中；以及一第二加热元件，沿第二轴心布置于该平台的主体的一第二平面中，该第二平面较该第一平面距离该平台表面更远，其中该第二轴心从与该主体的第一平面实质平行的一平面上偏离该第一轴心。