发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE, AND STORAGE MEDIUM
摘要
申请公布号 KR100976882(B1) 申请公布日期 2010.08.18
申请号 KR20080080065 申请日期 2008.08.14
申请人 发明人
分类号 H01L21/3065;H01L21/306 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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