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发明名称 LPP EUV LIGHT SOURCE
摘要
申请公布号 EP1730764(A4) 申请公布日期 2010.08.18
申请号 EP20050724577 申请日期 2005.03.03
申请人 CYMER, INC. 发明人 PARTLO, WILLIAM, N.;BROWN, DANIEL, J., W.;FOMENKOV, IGOR, V.;BOWERING, NORBERT R.;RETTIG, CURTIS, L.;MACFARLANE, JOSEPH, J.;ERSHOV, ALEXANDER, I.;HANSSON, BJORN, A., M.
分类号 H01J35/20;G03F7/20;H05G2/00 主分类号 H01J35/20
代理机构 代理人
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