压印方法和基板的处理方法

摘要

在压印方法中，多次重复将模子的图案压印到基板上的树脂材料上来形成图案的步骤。该压印方法包括：准备在未形成图案的位置含遮光部件的模子；通过包括使模子与设置在基板上的可光致固化的树脂材料接触、经由光照射来固化可光致固化的树脂材料而形成第一处理区域、和去除可光致固化的树脂材料的从第一处理区域伸出到在第一处理区域的外围的外部区域中的部分的步骤来第一次形成图案；和通过包含使模子与设置在包括外部区域并邻近第一处理区域的区域中的基板上的可光致固化的树脂材料接触、在该区域中固化可光致固化的树脂材料而形成第二处理区域、和在第二处理区域的外围去除可光致固化的树脂材料的从第二处理区域伸出的部分的步骤来第二次形成图案。

主权项

一种压印方法，在该压印方法中，通过将模子的图案压印到基板上的树脂材料上来形成图案的步骤被重复多次，所述压印方法包括：准备在没有形成图案的位置包括遮光部件的模子的步骤；通过这样的步骤来第一次形成图案的步骤，上述这样的步骤包括：使模子与设置在基板上的可光致固化的树脂材料接触的步骤、通过经由光照射来固化可光致固化的树脂材料而形成第一处理区域的步骤、以及去除可光致固化的树脂材料的从第一处理区域伸出到在第一处理区域的外围的外部区域中的部分的步骤；以及通过这样的步骤来第二次形成图案的步骤，上述这样的步骤包括：使模子与设置在包括所述外部区域并邻近第一处理区域的区域中的基板上的可光致固化的树脂材料接触的步骤、通过在所述区域中固化可光致固化的树脂材料来形成第二处理区域的步骤、以及在第二处理区域的外围去除可光致固化的树脂材料的从第二处理区域伸出的部分的步骤。