用于附着基板的设备及其间隙控制单元

摘要

本发明公开了一种用于附着基板的设备，该设备包括用于支撑第一基板的第一腔室以及用于支撑第二基板的第二腔室。主密封件设置于第一腔室与第二腔室之间以保持腔室之间的密封和间隙。对准控制部设置于第一腔室与第二腔室之间以便保持密封，并且还使第二腔室相对于第一腔室移动以对准基板。该对准控制部还可控制腔室之间的间隙，从而保持基板之间的均匀间隙。

主权项

一种用于附着基板的设备，所述设备包括：主框架；第一腔室，安装于所述主框架上，所述第一腔室可保持第一基板；第二腔室，安装于所述主框架上，所述第二腔室可保持第二基板，其中，所述第一腔室和所述第二腔室可以合在一起以形成密封附着空间；对准控制装置，位于所述第一腔室与所述第二腔室之间，其中，所述对准控制装置包括：本体，位于所述第一腔室与所述第二腔室之间；主密封件，位于所述本体的第一侧并能够保持所述本体和所述第一腔室之间的密封；辅助密封件，位于所述本体的第二侧并能够保持所述本体与所述第二腔室之间的密封；以及固定装置，将所述本体连接于所述第二腔室并确保所述辅助密封件与所述本体和所述第二腔室密封接触，其中，所述本体包括直径比所述固定装置的直径大的安装孔，其中，所述固定装置穿过所述安装孔并进入所述第二腔室中的固定孔，并且其中，由于所述安装孔的较大直径而允许所述本体相对于所述第二腔室移动。