基于气冷温控原理的超磁致伸缩微进给驱动装置

摘要

本发明公开了一种基于气冷温控原理的超磁致伸缩微进给驱动装置。通过电流来控制输出位移的驱动装置，并通过气冷温控装置实现抑制驱动器温升和热误差输出，提高输出位移控制精度。本发明驱动器结构简单，驱动电流较小，工作稳定，频响特性好；采用空气强制制冷，能实施长时间温控，有效抑制热误差输出；碟形弹簧增加了预压力的平衡，自定心钢球能够使输出力保持在输出顶杆的轴线上，这样执行器的位移输出控制精度可达到亚微米级甚至更高，并且能适应各种恶劣的工作环境。同时具有体积小、重量轻、输出力大、位移精度高，能抑制热变形对驱动器输出位移的影响，可用于超精密加工、振动控制等领域。

主权项

基于气冷温控原理的超磁致伸缩微进给驱动装置，其特征在于：包括底座(1)、下冷却室(3)、外壳(4)、偏置线圈(5)、驱动线圈(6)、线圈骨架(7)、超磁致伸缩棒(8)、钢球(10)、上冷却室(12)、十字形输出顶杆(13)、上端盖(14)、碟形弹簧(15)、预压螺母(16)；在底座(1)中心小凸台上装有超磁致伸缩棒(8)、钢球(10)和十字形输出顶杆(13)，在超磁致伸缩棒(8)和十字形输出顶杆(13)下直杆外，从内向外依次装有内壁带螺旋冷却气道(9)的线圈骨架(7)、驱动线圈(6)、偏置线圈(5)和外壳(4)；十字形输出顶杆(13)上直杆外装有碟形弹簧(15)和预压螺母(16)，上端盖(14)和预压螺母(16)构成组合预压机构，线圈骨架(7)下端与底座(1)之间的空隙形成下冷却室(3)，线圈骨架(7)上端与上端盖(14)之间的空隙形成上冷却室(12)，下冷却室(3)与上冷却室(12)通过螺旋冷却气道(9)联通。