具有与导波耦合的衍射光栅的光学器件及其制造方法

摘要

本发明提供一种具有与导波耦合的衍射光栅的光学器件及其制造方法。该光学器件包括：形成于衬底之上的光学波导结构限定用于沿着平行于衬底表面的方向引导光而使导波的横向模式的光强度分布朝着光学波导路径的第一侧偏置的光学波导。主要衍射光栅至少设置于与第一侧相对的第二侧上并且与沿着光学波导传播的导波耦合。辅助衍射光栅设置于第一侧上并且使与主要衍射光栅耦合以及沿着光学波导传播的导波向与光学波导的延伸方向不同的方向衍射。本发明可以高效地抑制二阶或高阶横向模式的振荡。

主权项

一种光学器件，包括：光学波导结构，形成于衬底之上，所述光学波导结构限定光学波导，所述光学波导用于沿着平行于所述衬底的表面的方向引导光并使导波的横向模式的光强度分布朝着所述光学波导的第一侧偏置；主要衍射光栅，至少设置于与所述光学波导的两侧之中的所述第一侧相对的第二侧上，并且与沿着所述光学波导传播的所述导波耦合；以及辅助衍射光栅，设置于所述光学波导的两侧之中的所述第一侧上，并且使与所述主要衍射光栅耦合并沿着所述光学波导传播的所述导波向与所述光学波导的延伸方向不同的方向衍射，其中所述辅助衍射光栅的周期至少为所述主要衍射光栅的周期的1.2倍。