角反射体动镜干涉仪

摘要

本发明涉及一种角反射体动镜干涉仪，包括分束器、平面反射镜、双面反射镜、角反射体动镜、角反射体动镜驱动系统以及探测收集系统；其中分束器将入射光分为反射光以及透射光；平面反射镜和角反射体动镜分别设置于两光路上；角反射体动镜驱动系统驱动角反射体动镜；双面反射镜设置于平面反射镜和角反射体动镜的反射光路上，可以将入射至双面反射镜的入射光反射后再经过平面反射镜反射至分束器，将入射至双面反射镜的入射光反射后再经过角反射体动镜反射至分束器；探测收集系统设置于最终经分束器透射或反射的出射光路上；本发明采用角反射体动镜，消除了平面动镜的倾斜问题；采用该干涉光路，消除了动镜横移问题，且结构紧凑、热稳定性好。

主权项

一种角反射体动镜干涉仪，其特征在于：所述角反射体动镜干涉仪包括分束器、平面反射镜、双面反射镜、角反射体动镜、角反射体动镜驱动系统以及探测收集系统；所述分束器将入射光分为反射光以及透射光；所述平面反射镜设置于一光路上，所述角反射体动镜设置于另一光路上；所述角反射体动镜驱动系统驱动角反射体动镜；所面反射镜设置于平面反射镜和角反射体动镜的反射光路上；所述双面反射镜将入射至双面反射镜的入射光反射后再经过平面反射镜反射至分束器；所述双面反射镜将入射至双面反射镜的入射光反射后再经过角反射体动镜反射至分束器；所述探测收集系统设置于最终经分束器透射或反射的出射光路上。