带有清洁机构的标记装置及其清洁方法

摘要

本发明涉及带有清洁机构的标记装置及其清洁方法。在带有清洁机构的标记装置中，为了除去附着在墨水操纵器(10)之下的中空针(40)的前端上的墨水污垢(50)，在中空针(40)的周围具有筒形状的浮上子(20)，该浮上子具有空腔(60)，以包围浮上子(20)的方式设置送风杯(31)。送风杯(31)的下部分以收缩的形状而与送风管(30)连接。送风杯(31)的上部分开放。通过向送风杯(31)送风，使得浮上子(20)进行上下旋转动作并与墨水操纵器接触，从而除去墨水污垢。

主权项

一种带有清洁机构的标记装置，为在半导体晶片的特定位置进行标记的标记装置，具有清洁装置，该清洁装置由送风管、安装在所述送风管前端的送风杯以及具有配置在所述送风杯的内侧的空腔的浮上子构成，清洁附着在墨水操纵器前端的中空针的针尖上的墨水污垢，在所述空腔内清洁所述中空针。