发明名称 一种测量机器视觉系统对准精度的方法
摘要 一种测量机器视觉系统对准精度的方法,具有如下步骤:提供一标记基板,该标记基板上均匀分布若干位置和间隔已知的完全相同的标记;用机器视觉系统对标记基板拍照,获得标记基板的图像;对获得的图像进行图像分割;对每个小图像的图形进行检测,得到图形的边缘,根据图形特征计算图形的中心;根据小图像在整个图像中的位置,得到一个标记的像在机器视觉系统中的位置;根据机器视觉系统已有的坐标系转换关系,获得标记在基板上的物理位置;将得到的标记的物理位置与标记基板上已知的标记位置进行比较,其结果即为对准系统的对准精度。
申请公布号 CN101807014A 申请公布日期 2010.08.18
申请号 CN201010131078.9 申请日期 2010.03.23
申请人 上海微电子装备有限公司 发明人 王健
分类号 G03F9/00(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I;G01B11/00(2006.01)I 主分类号 G03F9/00(2006.01)I
代理机构 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 代理人 王光辉
主权项 一种测量机器视觉系统对准精度的方法,具有如下步骤:步骤一,提供一标记基板,该标记基板上均匀分布若干完全相同的标记,各个标记之间的位置和间隔已知;步骤二,利用机器视觉系统对标记基板拍照,获得标记基板的图像;步骤三,对获得的图像进行图像分割,将图像分割为N×N个小图像,每个小图像都包括基本相同的图形;步骤四,对每个小图像的图形进行检测,根据图形的特征检测图形的边缘,然后计算图形的中心;步骤五,根据小图像在整个图像中的位置,得到一个标记的像在机器视觉系统中的位置;步骤六,根据步骤五中获得的像素位置,根据机器视觉系统已有的坐标系转换关系,将像素的位置转换为标记的在基板上的物理位置;步骤七,将步骤六中得到的标记的物理位置与标记基板上已知的标记位置进行比较,其结果即为对准系统的对准精度。
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