正型感光性树脂组合物、以及使用该组合物形成固化膜的方法

摘要

本发明提供一种具有优异的感光度、残膜率和储藏稳定性的正型感光性树脂组合物、利用该正型感光性树脂组合物形成固化膜的方法、以及具有优异的耐热性、粘附性、透光度等的固化膜，其中所述正型感光性树脂组合物包含：含有能够进行酸性解离基团的解离以形成羧基的特定丙烯酸系构成单元的树脂，该树脂不溶于碱或难溶于碱，并且当所述酸解离性基团发生解离时该树脂变得可溶于碱；含有具有能够与羧基反应而形成共价键的官能团的构成单元的树脂；以及在受到光化射线或放射线的辐射时能够产生酸的化合物。

主权项

1.一种正型感光性树脂组合物，其包含：(A1)含有下式(1)所示的、具有酸解离性基团的构成单元的树脂，该树脂不溶于碱或难溶于碱，并且当所述酸解离性基团发生解离时该树脂变得可溶于碱；(A2)含有具有能够与羧基反应而形成共价键的官能团的构成单元的树脂；以及(B)在受到光化射线或放射线的辐射时能够产生酸的化合物，其中R¹表示氢原子、甲基、卤素原子或氰基，R²和R³各自独立地表示氢原子、直链或支链烷基、或环烷基，条件是R²和R³中至少一者表示直链或支链烷基、或环烷基，R⁴表示可被取代的直链或支链烷基、可被取代的环烷基、或可被取代的芳烷基，并且R²或R³可以与R⁴连接而形成环醚。