涂布装置

摘要

本发明提供一种涂布装置，该涂布装置抑制颜料分散型抗蚀剂的颜料成分凝聚。本发明所提供的涂布装置为将颜料分散型抗蚀剂液涂布于被处理基板上的涂布装置，该涂布装置具有：喷嘴，该喷嘴用于吐出颜料分散型抗蚀剂液；用于供给颜料分散型抗蚀剂液的涂布液供给部；以及将由所述涂布液供给部供给的颜料分散型抗蚀剂液导向喷嘴的配管，该配管由导电管构成。由于本发明的涂布装置具有上述结构，因而即使颜料分散型抗蚀剂液通过导电管内，也可以抑制颜料成分的凝聚。

主权项

一种涂布装置，其是将含有导电性颜料成分的颜料分散型抗蚀剂组合物涂布于被处理基板上的涂布装置，该涂布装置的特征在于，其具有：喷嘴，该喷嘴具有用于吐出上述颜料分散型抗蚀剂组合物的吐出口；用于供给上述颜料分散型抗蚀剂组合物的涂布液供给部；用于将由上述涂布液供给部供给的上述颜料分散型抗蚀剂组合物导向上述喷嘴的配管，该配管由导电构件构成，并且所述配管接地；并且在所述配管中，所述颜料分散型抗蚀剂组合物所含有的所述导电性颜料成分的由静电所导致的凝聚被抑制。