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发明名称 CHEMICAL-MECHANICAL POLISHING OF SIC SURFACES USING HYDROGEN PEROIXDE OR OZONATED WATER SOLUTIONS IN COMBINATION WITH COLLOIDAL ABRASIVE
摘要
申请公布号 EP1735826(A4) 申请公布日期 2010.08.18
申请号 EP20050745582 申请日期 2005.04.06
申请人 II-VI INCORPORATED 发明人 KERR, THOMAS, M.;MARTIN, CHRISTOPHER, T.;STEPKO, WALTER, R., M.;ANDERSON, THOMAS, E.
分类号 H01L21/04;C09G1/02;H01L21/306 主分类号 H01L21/04
代理机构 代理人
主权项
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