密封装置

摘要

一种密封装置，其结构简单，具有良好的滑动寿命，且适于将运动从外部传递到处理室。密封装置包括：传递机械运动的轴；轴所贯穿的外壳；产生磁力的磁力产生单元；具有从外壳朝轴突出而形成密封槽的一对内侧突缘的导磁构件；被密封槽收纳并相对于轴的外侧面滑动的密封构件；以及通过由磁力产生单元产生的磁力保持于轴与导磁构件之间的磁性流体，一对内侧突缘中，第一内侧突缘靠近磁力产生单元，在该第一内侧突缘的靠近所述轴的端部形成有朝轴和密封构件突出的流体保持突部。

主权项

一种密封装置，是磁性流体密封装置，以维持被保持在规定环境下的处理室的环境的状态，将规定的机械运动从该处理室的外部传递到该处理室的内部，其特征在于，包括：轴，该轴将所述规定的机械运动传递到所述处理室；外壳，该外壳被所述轴贯穿；磁力产生单元，该磁力产生单元配置于所述外壳与所述轴之间，且在所述轴的周围产生磁力；导磁构件，该导磁构件具有从所述外壳朝所述轴突出而形成包围所述轴的密封槽的一对内侧突缘，所述导磁构件与所述磁力产生单元相邻配置，且传递该磁力产生单元产生的磁力；密封构件，该密封构件在至少一部分朝所述轴突出的状态下收纳于所述密封槽，且相对于所述轴的外侧面滑动；以及磁性流体，该磁性流体通过由所述磁力产生单元产生的磁力保持于所述轴与所述导磁构件之间，所述内侧突缘中，第一内侧突缘靠近所述磁力产生单元，在该第一内侧突缘的靠近所述轴的端部，形成有朝所述轴和所述密封构件突出的流体保持突部。