发明名称 |
非接触式加热平台 |
摘要 |
一种热处理系统,包括至少一个用于热处理物体的装置,该装置包括:至少一对基本相对的平台中的一个,其中至少一个平台,该平台具有至少一个加热机构,用于加热或冷却物体;和至少一个平台具有流体机械机构,用于非接触地支撑物体。该平台具有活动表面,该活动表面包含至少多个基本单元中的一个基本单元,每个基本单元具有至少多个压力出口中的一个和至少多个流体排泄通道中的一个。每个基本单元的至少一个压力出口通过限流器与高压流体源连通,压力出口提供加压流体用于保持物体和平台表面间的流体垫。限流器表现为流体复位弹簧的作用。每个流体排泄通道具有入口和出口,用于局部平衡所述基本单元的质量流。 |
申请公布号 |
CN101421822B |
申请公布日期 |
2010.08.18 |
申请号 |
CN200580008253.2 |
申请日期 |
2005.03.16 |
申请人 |
科福罗科学解决方案有限公司 |
发明人 |
宇弗·雅索;阿里·哈尼克;希勒·莱克曼 |
分类号 |
H01L21/00(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/00(2006.01)I |
代理机构 |
广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 |
代理人 |
曾旻辉 |
主权项 |
一种热处理系统,包括至少一个用于热处理物体的装置,该装置包括:至少一个平台,该平台具有至少一个加热机构,用于加热或冷却物体;和流体机械机构,用于非接触地支撑物体,该流体机械机构具有活动表面,该活动表面包含至少多个基本单元中的一个基本单元,每个基本单元具有至少多个压力出口中的一个和至少多个流体排泄通道中的一个,每个基本单元的至少一个压力出口通过限流器与高压流体源连通,压力出口提供加压流体用于保持物体和平台表面间的流体垫,限流器表现为流体复位弹簧的作用;每个所述至少多个流体排泄通道中的一个,具有入口和出口,用于所述至少多个中的一个基本单元的质量流的局部平衡。 |
地址 |
以色列雅克内姆市 |