| 发明名称 | 声波器件 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种声波器件，其具有以高成品率实现的增强结构。所述声波器件包括：形成在基底上的声波元件；设置在所述基底上以在所述声波元件上方形成空腔的第一密封部分；以及设置在所述第一密封部分上的第二密封部分，其中，所述台阶具有圆化的拐角部分，所述第一密封部分具有第三密封部分和第四密封部分，所述第三密封部分设置在所述基底上以围绕所述声波器件的功能部分，所述第四密封部分设置在所述第三密封部分上以在所述功能部分上方形成所述空腔；并且所述第三密封部分比所述第四密封部分更宽。 | ||
| 申请公布号 | CN101232276B | 申请公布日期 | 2010.08.18 |
| 申请号 | CN200810003957.6 | 申请日期 | 2008.01.23 |
| 申请人 | 富士通媒体部品株式会社;富士通株式会社 | 发明人 | 津田庆二;木村丈儿;相川俊一;井上和则;松田隆志 |
| 分类号 | H03H9/10(2006.01)I;H03H9/25(2006.01)I | 主分类号 | H03H9/10(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人 | 李辉 |
| 主权项 | 一种声波器件，所述声波器件包括：形成在基底上的声波元件；设置在所述基底上以在所述声波元件上方形成空腔的第一密封部分；以及设置在所述第一密封部分上的第二密封部分，其中：所述第一密封部分具有第三密封部分和第四密封部分，所述第三密封部分设置在所述基底上以围绕所述声波器件的功能部分，所述第四密封部分设置在所述第三密封部分上以在所述功能部分上方形成所述空腔；所述第三密封部分比所述第四密封部分更宽，以使所述第一密封部分具有一台阶；所述第三密封部分的顶面与所述第四密封部分的底面之间的接触面积的宽度等于或大于40μm；并且所述第三密封部分的不与所述第四密封部分接触的顶面的宽度等于或小于30μm。 | ||
| 地址 | 日本神奈川县 | ||