发明名称 |
METHOD FOR THE PRODUCTION OF A SEMICONDUCTOR STRUCTURE |
摘要 |
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申请公布号 |
KR20100091261(A) |
申请公布日期 |
2010.08.18 |
申请号 |
KR20107016147 |
申请日期 |
2009.01.21 |
申请人 |
SILTRONIC AG |
发明人 |
HAEBERLEN MAIK;MURPHY BRIAN |
分类号 |
H01L33/34;H01L21/265;H01L33/00;H01L33/02;H01L33/46 |
主分类号 |
H01L33/34 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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