一种多晶硅尾气的净化方法

摘要

本发明提供了一种多晶硅尾气的净化方法，属吸附分离工程技术领域。包括将待净化尾气通过吸附塔得到净化氢气后用一部分该净化氢气返回再生塔用于吸附剂的再生，其特征是在再生塔之间还设置有一路循环氢气对吸附剂进行再生处理，该路循环氢气为：从冷却再生塔出来的循环氢气经加热后进入升温再生塔，对升温再生塔进行加热处理后出来，冷却后经压缩机进入到冷却再生塔。优点是吸附床层的再生只采用氢气，从根本上避免了其它再生介质的影响，保证了系统的安全性。采用循环式氢气使吸附剂的再生速度更快，再生更彻底，在提高了收率的同时也使氢气纯度更高。特别适合现有的吸附净化系统使用。

主权项

一种多晶硅尾气的净化方法，包括将待净化尾气通过吸附塔得到净化氢气后用一部分该净化氢气返回再生塔用于吸附剂的再生，其特征是在再生塔之间还设置有一路循环氢气对吸附剂进行再生处理，该路循环氢气为：从冷却再生塔出来的循环氢气经加热后进入升温再生塔，对升温再生塔进行加热处理后出来，冷却后经压缩机进入到冷却再生塔。