| 发明名称 | 一种照明均匀性补偿装置及具有该装置的光刻机 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种照明均匀性补偿装置，包括：与光轴方向垂直并顺序排列的第一补偿板和第二补偿板；第一和第二补偿板均进行了表面镀膜处理，镀膜的厚度沿着第一和第二补偿板的一端向另一端递增，形成渐变的透过率分布；第一补偿板镀膜厚的一端与第二补偿板镀膜厚的一端相对光轴成轴对称排列，使第一和第二补偿片具有相反的透过率分布。以及具有该装置的光刻机。本发明是照明均匀性补偿效果好，结构简单，成本低廉，易于实现的照明均匀性补偿装置。 | ||
| 申请公布号 | CN101807009A | 申请公布日期 | 2010.08.18 |
| 申请号 | CN201010124083.7 | 申请日期 | 2010.03.15 |
| 申请人 | 上海微电子装备有限公司 | 发明人 | 曹昇炜 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I;F21S8/00(2006.01)I;F21V17/00(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人 | 王光辉 |
| 主权项 | 一种照明均匀性补偿装置，其特征在于包括：与光轴方向垂直并顺序排列的第一补偿板和第二补偿板；第一和第二补偿板均进行了表面镀膜处理，镀膜的厚度沿着第一和第二补偿板的一端向另一端递增，形成渐变的透过率分布；第一补偿板镀膜厚的一端与第二补偿板镀膜厚的一端相对光轴对称，使第一和第二补偿片具有相反的透过率分布。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东区张江高科技园区张东路1525号 | ||