| 发明名称 | 角速度检测装置和角速度检测装置的制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供角速度检测装置和角速度检测装置的制造方法，上述角速度检测装置具备半导体基板(2)、形成于半导体基板(2)上的振子(3)、形成于半导体基板(2)上的控制振子(3)的控制电路(4)。 | ||
| 申请公布号 | CN101809408A | 申请公布日期 | 2010.08.18 |
| 申请号 | CN200880108653.4 | 申请日期 | 2008.09.25 |
| 申请人 | 罗姆股份有限公司 | 发明人 | 纸西大祐;高冈将树;藤森敬和 |
| 分类号 | G01C19/56(2006.01)I;G01P9/04(2006.01)I;H01L41/08(2006.01)I;H01L41/187(2006.01)I;H01L41/22(2006.01)I | 主分类号 | G01C19/56(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人 | 龙淳 |
| 主权项 | 一种角速度检测装置，其特征在于，包括：半导体基板；形成在所述半导体基板上的振子；和形成在所述半导体基板上的、控制所述振子的控制电路。 | ||
| 地址 | 日本京都 | ||