一种制备碲化镉薄膜太阳电池组件的方法

摘要

碲化镉薄膜太阳电池组件，属于新能源材料与器件领域。本发明首先在未经激光刻划的透明导电薄膜玻璃上，沉积硫化镉薄膜、碲化镉薄膜，获得“玻璃/透明导电薄膜/硫化镉/碲化镉”结构，对其进行热处理，然后进行激光刻划，刻掉“透明导电薄膜/硫化镉/碲化镉”，然后进行化学腐蚀，然后在“透明导电薄膜/硫化镉/碲化镉”刻线位置填注低温固化聚酰亚胺，然后沉积背接触层并进行后处理，然后使用激光刻划掉在“透明导电薄膜/硫化镉/碲化镉”刻痕附近刻划掉“硫化镉/碲化镉/背接触层”，沉积金属背电极层，然后使用激光刻划掉“透明导电薄膜/硫化镉/碲化镉”刻痕和“硫化镉/碲化镉/背接触层”刻痕附近的“硫化镉/碲化镉/背接触层/金属背电极”，获得串联集成的碲化镉薄膜太阳电池组件。该方法保证了全干法制备碲化镉薄膜太阳电池组件的工艺中，沉积硫化镉、碲化镉薄膜时可获得质量均匀一致的薄膜，保证了后续含氯化镉气氛中热处理均匀性，同时又不影响单元电池的形成及其串联集成的实现，从而提高了组件的转换效率。

主权项

一种制备碲化镉薄膜太阳电池组件的方法：其特征是首先在透明导电薄膜玻璃(TCO)上沉积CdS薄膜获得“glass/TCO/CdS”，然后在“glass/TCO/CdS”上沉积碲化镉薄膜获得“glass/TCO/CdS/CdTe”，然后对“glass/TCO/CdS/CdTe”进行含CdCl2气氛下的热处理，然后使用激光刻划热处理后的“glass/TCO/CdS/CdTe”，刻划掉“TCO/CdS/CdTe”，然后进行化学腐蚀使碲化镉表面富碲，然后在“glass/TCO/CdS/CdTe”上的刻划掉TCO/CdS/CdTe的刻痕上填注低温固化胶，然后沉积背接触层，然后进行背接触层热处理，然后使用激光在“TCO/CdS/CdTe”刻痕附近刻划掉“CdS/CdTe/背接触层”然后沉积金属背电极层，然后使用激光刻划掉“TCO/CdS/CdTe”刻痕和“CdS/CdTe/背接触层”刻痕附近的“CdS/CdTe/背接触层/金属背电极”。