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发明名称
DIAMOND ELECTRON RADIATION CATHODE, ELECTRON SOURCE, ELECTRON MICROSCOPE, AND ELECTRON BEAM EXPOSER
摘要
申请公布号
EP2034504(A4)
申请公布日期
2010.08.18
申请号
EP20070767687
申请日期
2007.06.27
申请人
SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD.
发明人
YAMAMOTO, YOSHIYUKI;UEDA, AKIHIKO;NISHIBAYASHI, YOSHIKI;IMAI, TAKAHIRO
分类号
H01J1/304;H01J37/073;H01L21/027
主分类号
H01J1/304
代理机构
代理人
主权项
地址
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