数字式微流控变焦透镜及其制作方法

摘要

本发明涉及一种数字式微流控变焦透镜及其制作方法。所述的数字式微流控变焦透镜中流体透镜和液压执行器单元是在基底和盖板之间充满流体的腔体，且两者腔体内流体相互连通。液压执行器单元是由若干个可独立控制的、容积相同或不同的腔体组成，工作状态下液压执行器单元腔体内流体输出量满足二进制变化。在公共电极和控制电极之间施加电压时，对应的液压执行器单元盖板会产生变形或移动，挤压执行器单元腔体内一部分流体进入透镜腔体内，使得流体透镜的透明盖板变形，从而改变透镜的焦距。选通不同的液压执行器单元腔体，能挤压不同容积的流体进入透镜腔体内，使透镜盖板产生不同程度的变形，实现透镜焦距的变化。

主权项

一种数字式微流控变焦透镜，其特征在于所述的微流控透镜包括流体透镜、液压执行器单元、公共电极、控制电极、引线和引线槽、流体连通槽、进样孔、排气孔，其中：①流体透镜和液压执行器单元是位于基底和盖板之间的充满流体的腔体，且两者腔体内流体互相连通；②进样孔与排气孔通过流体连通槽或引线槽与透镜或液压执行器单元的腔体连通；③控制电极位于液压执行器单元的正下方，且与液压执行器单元的形状相同。