具有腔体和压电岛的微机电装置及形成具有压电换能器的装置的方法

摘要

描述了具有压电致动器(104)的结构的微机电系统。多个压电岛由具有多个腔体(205)的主体(200)支撑。该压电岛部分地通过下述步骤形成：在临时结合到处理衬底的压电材料厚层内形成切口(145)，将该切割的压电层(107)附着到具有蚀刻特征的主体(200)，以及将该压电层研磨至小于切口(140)深度的厚度。导电材料(158、210)可以形成于压电层上以形成电极(106、112)。

主权项

一种微机电装置，包括：具有多个腔体的主体；由所述主体支撑的多个压电岛，其中各个所述压电岛具有第一表面、与所述第一表面相对的第二表面、以及与所述第一和第二表面相交的第三平面表面，其中所述压电岛具有包括含有2和4微米之间的宽度的压电材料颗粒和多个凹形的表面；以及在所述第一表面上的导电材料以及在所述压电岛的第二表面上的导电材料，其中所述导电材料在所述多个凹形中且接触所述凹形中的压电材料，其中至少一个所述多个压电岛置为毗邻所述多个腔体的相应腔体，其中至少一个所述压电岛具有在所述第三表面上的导电材料，所述第三表面上的导电材料电学接触在所述第一和第二表面上的导电材料。