发明名称 一种具有光伏效应的钯掺杂碳薄膜材料
摘要 本发明提供了一种具有光伏效应的钯掺杂碳薄膜材料,是在厚度为0.5~1.0毫米的单晶硅片上溅射一层厚度为20~200纳米的薄膜,该薄膜为掺杂原子数含量为0~5%钯的碳薄膜,制成钯掺杂碳薄膜/二氧化硅/硅材料或者钯掺杂碳薄膜/硅异质结材料。该材料具有光生伏特效应,可用于制造太阳能电池和光敏传感器件,所制造的太阳能电池具有较高的转换效率,而且生产工艺简单,成品率高。
申请公布号 CN101807611A 申请公布日期 2010.08.18
申请号 CN201010140443.2 申请日期 2010.04.01
申请人 中国石油大学(华东) 发明人 薛庆忠;马明;陈惠娟;吕成;夏丹
分类号 H01L31/0288(2006.01)I;H01L31/042(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I 主分类号 H01L31/0288(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种具有光伏效应的钯掺杂碳薄膜材料,其特征是,厚度为0.5~1.0毫米的单晶硅片上溅射一层厚度为20~200纳米的薄膜,该薄膜为掺杂原子数含量为0~5%钯的碳薄膜,制成钯掺杂碳薄膜/二氧化硅/硅材料或者钯掺杂碳薄膜/硅异质结材料。
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