发明名称 |
一种具有光伏效应的钯掺杂碳薄膜材料 |
摘要 |
本发明提供了一种具有光伏效应的钯掺杂碳薄膜材料,是在厚度为0.5~1.0毫米的单晶硅片上溅射一层厚度为20~200纳米的薄膜,该薄膜为掺杂原子数含量为0~5%钯的碳薄膜,制成钯掺杂碳薄膜/二氧化硅/硅材料或者钯掺杂碳薄膜/硅异质结材料。该材料具有光生伏特效应,可用于制造太阳能电池和光敏传感器件,所制造的太阳能电池具有较高的转换效率,而且生产工艺简单,成品率高。 |
申请公布号 |
CN101807611A |
申请公布日期 |
2010.08.18 |
申请号 |
CN201010140443.2 |
申请日期 |
2010.04.01 |
申请人 |
中国石油大学(华东) |
发明人 |
薛庆忠;马明;陈惠娟;吕成;夏丹 |
分类号 |
H01L31/0288(2006.01)I;H01L31/042(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/0288(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种具有光伏效应的钯掺杂碳薄膜材料,其特征是,厚度为0.5~1.0毫米的单晶硅片上溅射一层厚度为20~200纳米的薄膜,该薄膜为掺杂原子数含量为0~5%钯的碳薄膜,制成钯掺杂碳薄膜/二氧化硅/硅材料或者钯掺杂碳薄膜/硅异质结材料。 |
地址 |
257061 山东省东营市东营区北二路271号 |