发明名称 EINE CHEMISCH-MECHANISCH POLIERENDE AUFSCHLÄMMUNG,EINE BESCHLEUNIGERLÖSUNG ENTHALTEND
摘要
申请公布号 AT474899(T) 申请公布日期 2010.08.15
申请号 AT19990955147T 申请日期 1999.10.22
申请人 FUJIFILM ELECTRONIC MATERIALS USA, INC. 发明人 MAHULIKAR, DEEPAK
分类号 B24B37/00;C09K3/14;A01N33/06;A01N43/40;A01N59/08;B24B1/00;C09G1/02;C09K13/02;C09K13/04;C09K13/06;C09K13/08;H01L21/304;H01L21/306 主分类号 B24B37/00
代理机构 代理人
主权项
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