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发明名称 VERFAHREN ZUR AUSBILDUNG DÜNNER SCHICHTEN AUS SILIZIUMNITRID AUF SUBSTRATOBERFLÄCHEN
摘要
申请公布号 AT476535(T) 申请公布日期 2010.08.15
申请号 AT20050736348T 申请日期 2005.03.22
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 发明人 ROGLER, DANIELA;HOPFE, VOLKMAR;MAEDER, GERRIT
分类号 C23C16/34;C23C16/44;C23C16/452;C23C16/455 主分类号 C23C16/34
代理机构 代理人
主权项
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