PROJEKTIONSOBJEKTIV FÜR DIE HALBLEITER- LITHOGRAPHIE,申请号AT20030785715T-传众专利搜索

发明名称	PROJEKTIONSOBJEKTIV FÜR DIE HALBLEITER- LITHOGRAPHIE
摘要
申请公布号	AT475907(T)	申请公布日期	2010.08.15
申请号	AT20030785715T	申请日期	2003.12.03
申请人	CARL ZEISS SMT AG	发明人	HEINTEL, WILLI;KIRCHNER, HARALD;KELLER, WOLFGANG;KWAN, YIM-BUN;FROMMEYER, ANDREAS;MORRISON, FRASER
分类号	G03F7/20;G02B7/00;G02B7/18;G02B7/182	主分类号	G03F7/20
代理机构		代理人
主权项
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