发明名称 ELEKTRISCH ENTKOPPELTER MIKROGEFERTIGTER KREISEL
摘要
申请公布号 AT476638(T) 申请公布日期 2010.08.15
申请号 AT20000960094T 申请日期 2000.09.13
申请人 KIONIX, INC.;MILLISENSOR SYSTEMS AND ACTUATORS, INC 发明人 ADAMS, SCOTT;GROVES, JAMES;CARDARELLI, DONATO;CARROLL, RAYMOND;DAUWALTER, CHARLES
分类号 G01C19/56;H01L29/84 主分类号 G01C19/56
代理机构 代理人
主权项
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