| 摘要 |
<p>Procedimiento de producción de un plasma mediante descargas de tipo capacitivo, producidas entre un electrodo activo (4) y un electrodo pasivo (3), estando el electrodo pasivo (3) puesto a un potencial eléctrico determinado, mientras que el electrodo activo (4) es alimentado por una tensión de mantenimiento de descarga, caracterizado porque consiste: - en realizar el electrodo activo (4) por una serie de electrodos activos elementales (4i) que delimitan cada uno frente al electrodo pasivo, por una parte, una superficie activa (5) y, por otra parte, una superficie pasiva (8), - en repartir los electrodos activos elementales (4i) de forma geométricamente uniforme frente al electrodo pasivo (3), con vistas a obtener un plasma uniforme, y - en alimentar cada electrodo activo elemental (4i) por una tensión de mantenimiento de descarga que presenta un valor idéntico o diferente, con vistas a obtener un plasma uniforme.</p> |
