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发明名称 Bedampfungseinrichtung zur Molekularstrahlbedampfung und Molekularstrahlepitaxie
摘要
申请公布号 DE502008000852(D1) 申请公布日期 2010.08.12
申请号 DE200850000852T 申请日期 2008.02.22
申请人 CREATEC FISCHER & CO. GMBH;FORSCHUNGSVERBUND BERLIN E.V. 发明人 BRAUN, WOLFGANG;FISCHER, ALBRECHT
分类号 C30B23/06;C23C14/24;C23C14/56 主分类号 C30B23/06
代理机构 代理人
主权项
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