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发明名称 SPECTRAL PURITY FILTER.
摘要
申请公布号 NL2004984(A) 申请公布日期 2010.08.12
申请号 NL20102004984 申请日期 2010.06.28
申请人 ASML NETHERLANDS B.V., 发明人 YAKUNIN, ANDREI;KRIVTSUN, VLADIMIR;MEDVEDEV, VIACHESLAV;KODENTSOV, ALEXANDRE
分类号 G02B5/20;G03F7/20 主分类号 G02B5/20
代理机构 代理人
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