Ätzmischung zur Herstellung einer strukturierten Oberfläche auf Siliziumsubstraten
摘要
Die Erfindung betrifft eine Ätzmischung zur Herstellung einer strukturierten Oberfläche auf Siliziumsubstraten. Die vorliegende Erfindung betrifft ferner ein Verfahren zur Herstellung einer strukturierten Oberfläche auf Siliziumsubstraten, insbesondere zur Texturierung von multikristallinen Silizium-Wafern.
申请公布号
DE102009007136(A1)
申请公布日期
2010.08.12
申请号
DE20091007136
申请日期
2009.02.02
申请人
SOVELLO AG
发明人
PREISING, HENRI;SPEER, VOLKER;GOETHE, GUNNAR;AXMANN, HANS-JOERG;MATTHIAS, MICHAEL;SEYBOTH, DANIEL
