摘要 |
<p>Es wird eine Vakuumkammer (1) für Beschichtungsanlagen vorgesehen, wobei die Vakuumkammer (1) eine Bodenplatte (6) und eine Deckelplatte (2) aufweist, welche durch im Wesentlichen senkrecht zu der Bodenplatte (6) und der Deckelplatte (2) verlaufende Streben (4) miteinander verbunden sind, wobei eine Vielzahl von Öffnungen (9) durch die Bodenplatte (6), die Deckelplatte (2) und die Streben (4) definiert wird, und wobei zumindest ein Abschnitt einer Frontkante (15') der Bodenplatte (6) und ein Abschnitt einer Frontkante (15) der Deckelplatte (2) zusammen mit zwei Streben (4) eine um eine Öffnung (9) der Vielzahl von Öffnungen (9) umlaufende Abdichtfläche für eine in die Öffnung (9) einsetzbare Einsatzplatte (8) bilden. Darüber hinaus wird ein Verfahren zum Herstellen einer Vakuumkammer (1) für Beschichtungsanlagen bereitgestellt, welches die folgenden Schritte umfasst: Zusammenstecken eines Rahmens, welcher eine Bodenplatte (6), eine Deckelplatte (2) und Streben (4) aufweist, welche die Bodenplatte (6) und die Deckelplatte (2) verbinden, und Verschweißen der Bodenplatte (6) und der Deckelplatte (2) mit den Streben (4).</p> |